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솔루션 사업
코어밸런스
대전 기술 연구소
본 기술연구소는 방재안전/계측 분야에서
미래 도전과 선도기술 개발을 통해 현재 사회안전
확보에 기여하여 미래를 풍요롭게 함을 목적으로 한다.
잔류가스 질량분석기(RGA)
㈜코어밸런스는 국내 최초로 RGA(Residual Gas Analysis) 질량분석기를 개발한 회사로
반도체 진공 공정 등 진공 챔버내의 가스 분석을 위한 계측기로 Smart-CUBE 모델을 제안합니다.
Smart - CUBE
◆ 특징 ◆
• 쌍곡선면 초경 재질의 Quadrupole 질량필터로 긴 수명 유지
• 이중 필라멘트로 현장 교체 가능
• 빠른 스캔시간과 이더넷을 통한 분석프로그램 통신
• 스마트폰 어플을 이용한 원격제어 가능
• 분석 프로그램의 커스터마이즈 개발 가능
가스분석 및 모니터링 시스템
CB - GAMs (Core - balance Gas Analysis & Monitoring system)
• 하드웨어 및 소프트웨어 유저 밎춤형 수정 가능
• 스마트폰 원격 제어 (추후 예정)
구 분
내 용
비 고
QMS
smartCUBE
자사 QMS (국산)
샘플압력 (mbar)
1x 10 ~ 1,200
측정범위 (amu)
1 ~ 300
선택 사항
검출기
Faraday cup or SEM
선택 사항
크기 W x H x D (mm)
430 x 480 x 340
시료 주입구
NW 25 and 1/16"
Capilary 연결가능
Inlet module
Multi - orifice type
자동조절 기능예정
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